경도 및 탄성율 측정 (Oliver-Pharr)

기계적 특성화는 프론트 엔드와 백 엔드 반도체 제조의 공정 제어 과정 중, 그리고 자동차 산업 내 코팅의 품질을 포함한 박막 제조 및 공정에서 매우 중요합니다.

iMicro 나노인덴터는 울트라 소프트 젤부터 경화 코팅까지 다양한 소재를 위한 경도 및 탄성율을 측정할 수 있습니다. 해당 물성의 고속 평가가 생산라인에서 품질 관리 및 보증을 가능하게 합니다.

고속 소재 물성 맵

복합 재료의 경우 기계적 물성은 한 부분에서 다음 부분까지 상이할 수 있습니다. iMicro는 X와 Y 축에서 100mm 그리고 Z 축에서 25mm 의 샘플 이동을 가능하게 하여 샘플 면적 상에서 다양한 샘플 높이를 테스트할 수 있게 합니다. 선택적 NanoBlitz 형상 및 토모그래피 소프트웨어를 사용하여 측정된 모든 기계적 물성에 대해 신속하게 컬러 맵을 생성할 수 있습니다.

ISO 14577 경도 테스트

iMicro 나노인덴터는 ISO 14577 표준에 따라 소재 경도를 측정하기 위해 사전에 작성된 ISO 14577 테스트 방법을 포함합니다. 해당 테스트 방법은 영률, 계측 경도, 비커스 경도와 인덴테이션 정상화 작업을 자동 측정 및 기록합니다.

폴리머 탠 델타, 저장 및 손실 탄성율

iMicro 나노인덴터는 점탄성적 폴리머를 포함한 울트라 소프트 소재를 위한 탠 델타와 저장 및 손실 탄성율을 측정할 수 있습니다. 저장 및 손실 탄성율과 탠 델타는 에너지를 탄성 에너지로 저장하여 열로 발산하는 점탄성적 폴리머의 중요한 물성입니다. 두개의 지표는 모두 특정 소재 내 에너지 발산을 측정합니다.

정량적 스크래치 및 마모 테스트

iMicro는 다양한 소재에 대한 스크래치 및 마모 테스트를 진행합니다. 코팅과 박막은 박막의 강도와 기판과의 접착도를 테스트하는 와이어 본딩과 화학기계연마(CMP) 등의 다양한 공정을 지원합니다. 해당 소재들에 있어서 공정 중에 플라스틱 변형을 저항하고 기판에서 들뜸없이 온전한 상태를 유지하는 것이 중요합니다. 이상적으로 해당 변수가 제조 공정 중에 소재가 어떻게 반응할지 정의하는데 도움을 주기 때문에 유전체는 높은 수준의 경도 및 탄성율을 보유합니다.

고온 나노인덴테이션 테스트

고온에서의 나노인덴테이션은 특히 열기계적 공정 중에 실패 메커니즘을 정량화하는데 있어서 열 스트레스 하에서 소재 성능을 특성화하는데 매우 중요합니다. 기계적 테스트 중에 샘플 온도를 변화시키면 열로 유도되는 행동 변화를 측정할뿐만 아니라 나노단위로 쉽게 테스트할 수 없는 소재의 전환 가소성을 정량화합니다.