레티클 제조

레티클 제조

레티클 결함 또는 패턴 분류 오류의 경우 생산 웨이퍼 상의 다수의 다이에서 복제 가능하기 때문에 오류가 없는 레티클(포토마스크 또는 마스크로도 알려짐)은 높은 수준의 반도체 소자 수율을 달성하는 주요한 요소를 나타냅니다. 레티클은 블랭크 위에 생산됩니다. 쿼츠 기판이 흡수 박막을 통해 증착됩니다. KLA의 레티클 검사, 계측 및 데이터 분석 시스템 포트폴리오는 블랭크, 레티클 및 IC 제조업체들이 레티클 결함과 패턴 분류 오류를 파악하여 수율 리스크를 줄이도록 지원합니다.

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Teron™ 6xx

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Teron™ 6xx

마스크샵 애플리케이션용 레티클 결함 검사 시스템

Teron™ 640e 레티클 검사 제품 라인은 주요 패턴과 이물 결함을 검출하여 마스크 샵 내의 193nm 패턴 레티클과 첨단 EUV의 인증 및 개발을 진행시킵니다. 해당 검사 시스템은 다이-투-데이터베이스 또는 다이-투-다이 모드를 활용하여 최신 7nm 및 5nm 소자 노드에서 복잡한 OPC 구조 특성과 다양한 스택 소재를 처리하기 위해 설계되었습니다. Teron 640e는 레티클 제조 사이클 타임을 가속화하는데 필요한 처리량과 결함 검출 사양을 지원하는 여러 광학 및 이미지 처리 개선사항을 결합시킵니다. 또한 Teron 640e 제품 라인은 EUV 마스크 생산에 필수적인 엄격한 청결도 요구사항을 달성합니다.

애플리케이션

레티클 인증, 레티클 공정 제어, 레티클 공정 장비 모니터링, 출고 레티클 품질 확인

관련제품

Teron 640: 10nm 노드 및 향후 노드에서 광학 및 EUV 레티클을 검사하기 위한 산업 생산 표준.

Teron 630: 1Xnm / 2XHP 광학 및 EUV 레티클을 검사하기 위한 산업 생산 표준.

Teron 610: 2Xnm / 3XHP 광학 레티클을 검사하기 위한 산업 생산 표준.

TeraScan™ 500XR: 3Xnm / 4XHP 광학 레티클을 검사하기 위한 산업 생산 표준.

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Teron™ SL6xx

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Teron™ SL6xx

IC Fab 애플리케이션을 위한 레티클 결함 검사 시스템

Teron™ SL655는 입고 레티클 품질을 평가하고 생산에 사용 중 및 레티클 세정 후에 레티클을 재인증하기 위해 사용되어 결함이 있는 웨이퍼를 인쇄하는 리스크를 감소시킴으로써 칩 제조업체들이 수율을 확보하도록 지원합니다. STARlightGold™ 기술을 보유한 Teron SL655는 10nm 디자인 노드 및 향후 노드에서 완전한 범위의 마스크 유형(ILT, CPL, EUV, 등) 상에서 헤이즈 성장 또는 오염 등의 수율에 중대한 영향을 주는 레티클 결함 및 레티클 저하를 모니터링하기 위해 필요한 민감도를 제공합니다. 또한 Teron SL655는 산업을 선도하는 생산 처리량 수준을 보유하여 첨단 IC 디자인 노드와 관련된 증가하는 수의 레티클을 인증하는데 필요한 신속한 사이클 타임을 지원합니다.

애플리케이션

레티클 재인증, 입고 레티클 품질 확인

관련제품

Teron SL650: 20nm 디자인 노드 IC 기술을 위한 레티클 검사 시스템.

X5.3: ≥20nm 디자인 노드 IC 기술을 위한 중대한 영향을 미치지 않는 레티클에 대한 레티클 검사 시스템.

RA(레티클 분석기): IC Fab를 위한 레티클 데이터 분석 시스템으로써 자동 결함 분류, Litho 평면 리뷰 및 결함 변화 모니터링 등의 애플리케이션 지원합니다.

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FlashScan®

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FlashScan®

레티클 블랭크 결함 검사 시스템

FlashScan® 211 마스크 블랭크 결함 검사 시스템은 마스크 샵 및 블랭크 제조업체들이 광학 및 EUV Litho 애플리케이션의 마스크 블랭크 결함 요구사항을 충족하도록 지원합니다. FlashScan 211 시스템은 KLA의 고감도를 비교 불가능한 수준의 검사 속도 및 자동 결함 분류와 결합하여 다양한 애플리케이션이 결과에 도달하는 시간을 줄여줍니다.

애플리케이션

마스크 블랭크 제조, 마스크 블랭크 인증, 레티클 공정 제어, 레티클 공정 장비 모니터링

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LMS IPRO

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LMS IPRO

레티클 패턴 등록 계측 시스템

LMS IPRO7 레티클 등록 계측 시스템은 7nm 디자인 노드에서 광학 레티클 및 EUV에 대한 패턴 분류 성능의 빠르고 정확한 검증을 제공하기 위해 설계되었습니다. LMS IPRO7은 레티클 패턴 분류 오류의 종합 특성화를 제공함으로써 첨단 디자인 노드 레티클의 생산 및 개발 중 레티클 품질 관리 및 전자 빔 마스크 가공기 교정에 사용되는 데이터를 생성합니다. KLA의 고유의 모델 기반 계측 알고리즘을 사용하는 LMS IPRO7은 다수의 온 디바이스 기능과 타겟 모두에 대해 높은 정확도로 패턴 분류 오류를 측정하여 IC Fab 내 소자 오버레이 오류에 대한 레티클 관련 기여도를 감소 및 특성화하도록 합니다.

애플리케이션

레티클 인증, 출고 레티클 품질 확인, 마스크 가공기 인증 및 모니터링, 레티클 공정 모니터링, 웨이퍼 페터닝 제어

관련제품

LMS IPRO6: 10nm 디자인 노드를 위한 마스크 계측 시스템으로써 표준 등록 마크 및 온 디바이스 패턴 기능 측정을 모두 지원합니다.

LMS IPRO4: 32nm/28nm 디자인 노드를 위한 마스크 계측 시스템. 산업 고유의 처리 역량을 보유한 LMS IPRO4는 4”부터 8” 치수의 마스크를 지원합니다. 연락처 버튼을 클릭하면 신규 및 리퍼비시 시스템에 대한 추가 정보를 보실 수 있습니다.

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MaskTemp™ 2

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MaskTemp™ 2

In Situ 레티클 온도 측정 시스템

MaskTemp™ 2 In Situ 레티클 온도 측정 시스템은 전자 빔 가공기 및 고온 레티클 공정 단계의 모니터링 및 인증을 위해 마스크 샵에서 사용됩니다. 마스크를 완전히 인쇄하려면 긴 시간 (최대 24시간) 동안 극한 온도 안전성이 필요하기 때문에 MaskTemp 2는 전자 빔 마스크 가공기 인증 과정에서 중요한 역할을 수행합니다. 전자 빔 마스크 가공기 내에서 MaskTemp 2는 24시간 동안 연속적으로 온도 데이터를 수집하고 중대한 영향을 미칠수 있는 마스크 인쇄 전에 시스템의 온도 안정성을 확보하기 위해 필요한 데이터를 마스크 제조업체에게 제공합니다. 또한 Mask Temp 2는 후노광 베이크 특성화, 열판 온도 산포 모니터링, 열판 매칭과 기타 고온 공정 애플리케이션을 지원하여 마스크 제조업체가 최종 레티클 품질에 영향을 줄 수 있는 인쇄 후 공정 온도 변화를 감소시키고 파악하도록 도와줍니다.

애플리케이션

전자 빔 마스크 가공 인증, 공정 개발, 공정 제어, 공정 인증, 공정 모니터링, 공정 툴 인증, 공정 툴 매칭

전자 빔 마스트 가공 | 20-40°C

후노광 베이크 | 20-140°C

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RDC

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RDC

레티클 데이터 분석 및 관리

RDC(레티클 결정 센터) 종합 데이터 분석 및 관리 시스템은 레티클 인증을 위한 다수의 KLA 레티클 검사 및 계측 플랫폼을 지원합니다. RDC는 자동화 결함 분류 결정을 주도하고 사이클 타임을 개선하며 수율에 영향을 줄 수 있는 레티클 관련 패터닝 오류를 감소시키는 다양한 유형의 애플리케이션을 제공합니다. RDC는 필수 애플리케이션을 제공하는 것 외로 높은 수준의 신뢰성과 유연한 서버 설정을 활용하는 중앙 데이터 관리 시스템의 역할을 담당합니다.

애플리케이션

레티클 분류, 레티클 결함 분류, 레티클 결함 인쇄성 분석

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Klarity®

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Klarity®

자동화 결함 및 수율 데이터 분석

Klarity® Defect 자동화 결함 분석 및 데이터 관리 시스템은 시스템의 역할을 담당합니다. 수율 학습 주기를 가속화시킵니다. Klarity Defect을 위한 Klarity® SSA (공간 시그니처 분석) 분석 모듈은 공정 문제를 나타내는 결함 시그니처를 자동적으로 검출 및 분류합니다. Klarity® ACE XP 첨단 수율 분석 시스템은 Fab 내 그리고 Fab에 걸쳐 수율 가속화를 위해 수율 학습을 검출, 유지 및 공유하도록 지원합니다. Klarity 시스템은 직관적인 결정 흐름 분석을 활용하여 엔지니어들이 Lot 분류, 리뷰 샘플링, 결함 원인 분석, SPC 설정 및 관리와 공정사고 알림 등의 애플리케이션을 지원하는 맞춤형 분석을 손쉽게 수립할 수 있도록 합니다. Klarity Defect, Klarity SSA 및 Klarity ACE XP는 자동적으로 결함 검사, 분류 및 리뷰 데이터를 관련 근인 및 수율 분석 정보로 전환하는 Fab 전체에 걸친 수율 솔루션을 수립합니다. Klarity 데이터는 IC, 패키징, 컴파운드 세미 및 HDD 제조업체가 신속하게 시정조치를 취하여 수율을 가속화하고 시장 출시를 앞당길 수 있도록 지원합니다.

애플리케이션

결함 데이터 분석, 웨이퍼 분류, 공정 및 툴 공정사고 파악, 공간 시그니처 분석, 수율 분석, 수율 예측

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