표면 Profiler

표면 Profiler

KLA의 스타일러스 및 광학 Profiler는 엔지니어링 및 연구 커뮤니티의 니즈를 충족시키기 위해 전체 표면 계측 역량 범위를 제공합니다. Profiler는 스텝 높이, 텍스처 및 응력 분석으로 시작하여 측정을 다음 수준으로 가지고 갑니다.

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Alpha-Step® D-500 스타일러스 Profiler

Alpha-Step® D-500 스타일러스 Profiler

Alpha-Step D-500 스타일러스 Profiler는 불과 몇 나노미터부터 1200µm까지의 2D 스텝 높이를 측정할 수 있습니다. 또한 R&D 및 생산 환경을 위한 조도, 보우 및 응력의 2D 측정을 지원합니다.

제품 세부사항

Alpha-Step® D-600 스타일러스 Profiler

Alpha-Step® D-600 스타일러스 Profiler

Alpha-Step D-600 스타일러스 Profiler는 불과 몇 나노미터부터 1200µm까지의 2D 스텝 높이를 측정할 수 있습니다. 또한 R&D 및 생산 환경을 위한 조도, 2D plus 보우 및 응력의 2D 및 3D 측정을 지원합니다.

제품 세부사항

P-7 스타일러스 Profiler

P-7 스타일러스 Profiler

P-7은 시장을 선도하는 P-17 벤치 탑 스타일러스 프로파일링 시스템의 성공을 기반으로 구축되었습니다. 이는 벤치 탑 스타일러스 Profiler를 위한 우수한 가격 대비 기능 비율을 제공하는 플랫폼 내 P-17 기술의 뛰어난 측정 성능을 포함합니다. P-7은 생산 및 R&D 환경 내에서 불과 몇 나노미터부터 1밀리미터까지의 스텝에 대한 스텝 높이 측정 역량을 제공합니다.

제품 세부사항

P-17 스타일러스 Profiler

P-17 스타일러스 Profiler

P-17은 40년의 표면 계측 경험을 기반으로 구축된 산업을 선도하는 벤치 탑 스타일러스 Profiler입니다. P-17은 R&D 및 생산 환경에서 불과 몇 나노미터부터 밀리미터까지의 스텝 높이를 측정할 수 있습니다.

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P-170 스타일러스 Profiler

P-170 스타일러스 Profiler

P-170 프로파일 계측기는 P-17의 산업을 선도하는 벤치 탑 시스템 측정 성능을 HRP-260의 생산에서 입증된 핸들러 역량과 접목시키는 카세트-투-카세트 스타일러스 Profiler입니다. 이 조합은 반도체, 컴파운드 반도체 및 관련 산업에서 핸들러 기반 시스템을 위한 우수한 가격 대비 성능 비율을 제공합니다.

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HRP®-260 스타일러스 Profiler

HRP®-260 스타일러스 Profiler

HRP®-260은 고해상도 카세트-투-카세트 Profiler입니다. HRP는 자동화 웨이퍼 처리 역량을 통해 생산에서 입증된 성능을 제공하여 반도체, 컴파운드 반도체, 고조도 LED, 데이터 스토리지 및 관련 산업을 지원합니다.

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MicroXAM-800 광학 Profiler

MicroXAM-800 광학 Profiler

MicroXAM-800 광학 Profiler는 비접촉 3D 표면 형상 측정 시스템입니다. MicroXAM의 백색광 간섭 계측기는 나노미터부터 밀리미터까지의 기능을 측정할 수 있는 수직 스캐닝 간섭 계측기와 위상을 지원합니다.

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Zeta-20 광학 Profiler

Zeta-20 광학 Profiler

Zeta-20 벤치 탑 광학 Profiler는 비접촉 3D 표면 형상 측정 시스템입니다. 이 시스템은 특허 ZDot™ 기술 및 멀티 모드 광학으로 가동되며 이를 통해 불과 나노미터에서 밀리미터의 스텝 높이, 투명 및 불투명, 낮은 수준에서 높은 수준에서의 반사도 매끄러운 및 거친 텍스처 및 다양한 샘플 측정을 가능하게 합니다.

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Zeta-300 광학 Profiler

Zeta-300 광학 Profiler

Zeta-300 광학 Profiler는 비접촉 3D 표면 형상 측정 시스템입니다. 해당 시스템은 대규모 샘플을 처리하기 위한 통합 제진 옵션 및 구성 유연성을 접목시킵니다. 이 시스템은 특허 ZDot 기술 및 멀티 모드 광학으로 가동되며 이를 통해 불과 나노미터에서 밀리미터의 스텝 높이, 투명 및 불투명, 낮은 수준에서 높은 수준에서의 반사도, 매끄러운 및 거친 텍스처 및 다양한 샘플 측정을 가능하게 합니다.

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Zeta-388 광학 Profiler

Zeta-388 광학 Profiler

Zeta-388 벤치 탑 광학 Profiler는 비접촉 3D 표면 형상 측정 시스템입니다. 이 시스템은 특허 ZDot™ 기술 및 멀티 모드 광학으로 가동되며 이를 통해 불과 나노미터에서 밀리미터의 스텝 높이, 투명 및 불투명, 낮은 수준에서 높은 수준에서의 반사도, 매끄러운 및 거친 텍스처 및 다양한 샘플 측정을 가능하게 합니다.

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