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ASET-F5x Pro

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ASET-F5x Pro

박막 계측 시스템

ASET-F5x Pro 박막 계측 시스템은 광범위한 박막 적층 및 기하구조에 걸쳐 박막 두께, 굴절률 및 휨/응력 기능에 대한 신뢰할 수 있고 가성비 있는 고정밀 박막 측정을 제공합니다. 본 시스템은 절대적인 정확도, 재현성 및 시스템 간 일치를 제공하는 기능을 갖추고 있으며 이는 IoT, 자동차 및 모바일 시장용 소자를 제조하는 반도체 공장에 필요합니다. ASET-F5x Pro는 단일 시스템에 정밀한 광학 분광 타원 측정 및 반사 측정 측정 기술을 통합하여 µLED, MEM 및 IC 제조업체가 요구하는 모든 범위의 박막 측정 당면 과제를 처리합니다.

응용분야

사진식각, 증착, CMP 및 에칭을 위한 제품 박막 두께 및 화학량론 제어, 인라인 설비 및 공정 모니터링, 공정 설비 일치

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Archer

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Archer

오버레이 계측 시스템

Archer 이미징 기반 오버레이 계측 시스템은 다양한 기판 유형, 크기, 재료 및 두께에 대한 견고하고 정확하며 신뢰할 수 있고 재현 가능한 오버레이 등록 및 CD 측정을 제공합니다. 업계에서 증명된 Archer 플랫폼은 빠르고 반복 가능하며 시스템 간 일치 성능을 제공하며 이는 IoT, 자동차, µLED 및 모바일 부문용 제품을 생산하는 반도체 공장에서 요구되어 집니다.

응용분야

제품 오버레이 제어, 인라인 모니터링, 스캐너 검증, 패터닝 제어

관련 상품
특징 Archer 10XT+/AIM+ Archer 200 Archer 300
300mm 웨이퍼
200mm 웨이퍼
150mm 웨이퍼 아니요 아니요
AIM® 24×24
AIM® 15×15 아니요
µAIM® 10×10 아니요
AIMid® 5×5 아니요 아니요
5D 분석기®
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MicroSense® STR1

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MicroSense® STR1

150 및 200mm 실리콘 웨이퍼 기하구조 시스템

UltraMap 제품군의 MicroSense® STR1은 웨이퍼 기하구조 측정 시스템으로 전반 공정, 패턴화되지 않은 증착 공정은 물론 반도체 제조업체에서 들어오는 연마 및 에피택셜 150/200mm 실리콘, SiC 및 기타 기판(GaN, GaAs, 사파이어 및 에피택시 공정 및 전반 공정 포함)을 검증하는 데 사용됩니다.

특허받은 이중 탐침, 나노미터 분해능의 비접촉 정전용량 센서는 전체에 걸쳐 정밀하고 정확한 자동 형상 측정을 제공합니다. 웨이퍼 출력당 120,000회 측정을 포함한 전체 웨이퍼 매핑에는 두께, 평탄도, 형상, 2D 응력, 총 두께 변동, 휨, 뒤틀림, 위치 및 가장자리 분석결과의 고밀도 2D 및 3D 지도가 포함되었습니다.

응용분야

웨이퍼 공정 모니터링 및 제어, 입고 품질 관리 웨이퍼 공장 (IQC), 전반 공정 반도칩 제조, 2D 응력 제어 및 모니터링

관련 상품

MicroSense CSW1: Si, SiC, GaN, GaAs(사파이어, SiC 또는 Si), Ge 및 에피택시 공정을 위한 150/200mm 가교 설비

MicroSense BP1: 얇은 뒷면 연마 웨이퍼용 150/200mm 가교 설비 또는 Si, SiC, GaN, GaAs, 사파이어용 절단 또는 연마

MicroSense C200L/M: 연마된 실리콘 및 에피택셜 웨이퍼 제조업체를 위한 200mm 웨이퍼 측정 설비

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