KLA的Voyager® 1015和Surfscan®SP7晶圆检测系统解决了7nm逻辑和存储器设计节点的制程和设备监控中的两大关键挑战。 Voyager 1015系统配备的新功能,针对图案化晶圆显影后(ADI)作缺陷检测,在该制程步骤,晶圆还是可以从新加工的。Surfscan SP7系统为裸片晶圆提供前所未有的缺陷检测敏感度,并且在表面光滑/粗糙程度不同的薄膜上都能有良好表现。两个新的检测系统设计宗旨是从源头发现缺陷偏移,加速新型电子产品上市。

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Voyager® 1015

激光扫描图案晶圆检测系统

该系统具备革命性的检测能力,在满足拥有成本要求下,帮助光刻单元的开发和量产提升的监控,同时支持IC工厂中的其他制程步骤。

  • DUV激光器,新的光学架构和最大的立体角采集器为先进的设计节点提供所需的检测灵敏度
  • 新型传感器和可切换的连续波激光器可以检测精细脆弱的光阻材料,用于EUV / 193i在线ADI监测和光刻单元监测(PCM)应用
  • 独特的倾斜照射方式和先进的算法能够抑制传统ADI检测常见的固有噪声源,从而获得更准确相关的检测结果
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Surfscan® SP7

无图案晶圆检测系统

裸片晶圆,光滑薄膜和粗糙薄膜的灵敏度不仅满足OEM和先进基板制造工艺,还能满足晶圆厂制程监控,帮助先进制程和产品的研发。

  • 创新性的照射和传感器架构为检测提供了最佳灵敏度,快速发现源头的致命缺陷,缩短辨别问题根本原因的时间
  • 改良优化的光学分辨率与峰值功率控制,能够检测精细脆弱的光刻胶薄膜叠层结构,帮助对EUV / 193i光刻设备和材料的认证
  • 改进后的缺陷分类体系能产生实时DOI (关键缺陷)直方图分部,实现更精确合理的晶圆处理

制程 | 设备监控

从源头发现制程偏移的制程设备

有效的监控策略将帮助晶圆厂工程师快速识别不合格的工艺,劣质工具和有问题的反应腔室,最大限度地减少量产中可能出现的偏差。 KLA的晶圆检测系统具备所需的检测灵敏度、适应量产的产能和易用性,可有效控制制程设备,提高量产良率基准。

 

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新闻发布

Voyager 1015和Surfscan SP7系统是制程控制系统,属于芯片制造产品组合的一部分

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