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Surfscan® 系列

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Surfscan® 系列

无图案晶圆检测系统

Surfscan® 无图案晶圆检测系统可识别影响半导体元件性能和可靠性的缺陷及表面质量问题。通过对设备、工艺和材料进行认证和监控,能够迅速找到表面的缺陷,从而支持IC、OEM、材料和衬底制造。

应用

工艺认证、设备认证、设备监控、出厂晶圆质量控制、入厂晶圆质量控制、光阻和光刻机认证、工艺调试。

相关产品

Surfscan SP2XP:

针对≥45nm设计节点技术的无图案晶圆检测系统

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Surfscan SP2:

针对≥65nm设计节点技术的无图案晶圆检测系统

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Surfscan SP1DLS Pro:

针对≥90nm设计节点技术的无图案晶圆检测系统

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Surfscan SP1TBI Pro:

针对≥130nm设计节点技术的无图案晶圆检测系统

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2835, 2367

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2835, 2367

宽带等离子图案晶圆缺陷检测系统

2835和2367宽带等离子缺陷检测系统提供了业界公认的光学图案缺陷检测性能,能够在≥45nm的逻辑、内存和专业元件上对良率关键缺陷进行监控。每个型号的系统都配备特定可选的波长照明、成像像素、光学模式和先进的噪声抑制和缺陷分类算法,为最关键的工艺层提供经济高效的在线检测控制。

应用

在线缺陷发现与监控、热点发现、工程分析、工艺窗口认证、光刻单元监控

相关产品

2835:

针对≥45nm设计节点的采用宽带深紫外-紫外-可见光光谱的图案晶圆检测系统

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2367:

适用于≥65nm设计节点的采用宽带紫外-可见光光谱的图案晶圆检测系统

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Puma 91xx

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Puma 91xx

激光扫描图案晶圆缺陷检测系统

Puma™ 9130和9150激光成像检测仪将紫外线照明光学组件与多个高速成像传感器相结合,提供一系列光学模式,用于在图案化产品晶圆上对关键缺陷进行在线检测。91xx以其高采样率、高产量和高灵敏度,能够更有效地捕获和控制关键前段(FEOL)和后段(BEOL)工艺层上影响良率的缺陷。91xx很好地补充了KLA 2367全光谱紫外/可见光和2835 DUV/紫外/可见明场检测仪,从而可以实现完整的混合搭配图案晶圆检测策略。

应用

生产线监控、设备监控、设备认证、薄膜缺陷率、光刻单元监控、ADI

相关产品

Puma 9150:

使用紫外照明激光的成像技术进行图案晶圆检测。9150在9130的基础上进行了扩展、增加了直射照明、增强的数据速率和新的光学模式、因而功能更加强大

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Puma 9130:

使用紫外照明激光的成像技术进行图案化晶圆检测

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eDR-5210

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eDR-5210

电子束晶圆缺陷检视和分类系统

eDR-5210电子束(e-beam)晶圆缺陷检视和晶圆分类系统可拍摄高分辨率的缺陷图像,准确呈现晶圆上的缺陷种类。eDR提供与KLA检测系统特别的连接,以便在IC和晶圆制造过程中更快地提升良率。

应用

缺陷成像、自动在线缺陷分类和性能管理、裸晶圆出厂和入厂质量控制、晶圆处置、热点发现、缺陷发现、工艺窗口发现、工艺窗口认证、晶边检视

eDR® 是KLA 公司的注册商标。

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