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KLA Instruments Webinar

利用Zeta-20三位轮廓仪进行透过玻璃等透明材料的表面形貌表征

微流体等器件的测量需要通过覆盖透明材料进行表征,Zeta-20光学轮廓仪提供了一种透过透明材料进行多层结构的表征方法。微流通道的高度和宽度可以在封装透明材料前后进行测量,从而测量封装过程中应力引起的结构变化。这些测量需要对不同多层结构的ZDot 网格信号进行校准或是使用补偿物镜,从而实现多层结构的精确测量。


Event Date: 星期四, October 21, 2021 | 12:00 上午-11:59 下午

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