利用Zeta 三维光学轮廓仪对微流体结构和高深宽比样品的形貌表征
微流体器件的测量需要光学信号穿过覆盖透明材料进行表征，Zeta光学轮廓仪提供了一种透过透明材料进行多层结构的表征方法。微流通道的高度和宽度可以在封装透明材料前后进行测量，从而测量封装过程中应力引起的结构变化。这些测量需要对不同多层结构的Z-Dot 网格信号进行校准或是使用补偿物镜，从而实现多层结构的精确测量。在本次网络研讨会中，您将发现对于微流体和高深宽比类似应用的非接触式光学解决方案。
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