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利用Tencor探针式台阶仪进行软材料的表面测量

利用探针式台阶仪对软材料表面进行接触式测量时,需要对所施加的力进行适当的控制。一般的探针式台阶仪在测量时施加固定的力,没有反馈调节系统,从而导致样品表面所受的力随台阶高度而产生变化。Tencor系列探针式台阶仪具有先进的力控制功能,可以根据台阶高度动态地改变力的大小,从而保证在样品表面所受的力是恒定大小的。该设计可实现软材料表面台阶高度的精确测量。


Event Date: 星期四, September 16, 2021 | 12:00 上午-11:59 下午

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