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KLA Instruments Webinar

利用Zeta-20 三维光学轮廓仪进行高深宽比应用的表面形貌表征

高深宽比应用如深槽等样品对于需要表面表征技术都是一个挑战。对于接触式台阶仪,高深宽比的应用通常已经超过了探针本身的能力或是接触式台阶仪Z方向的测量范围。Zeta-20 光学轮廓仪提供了一种测量高深宽比样品深度的方法。在本次网络研讨会中,您将发现对于高深宽比和深槽等类似应用的非接触式光学解决方案。


Event Date: 星期四, July 15, 2021 | 12:00 上午-11:59 下午

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