用于SiC,GaN衬底的新型缺陷检测系统

8月 27, 2020

今天,KLA Instruments宣布了适用于功率器件应用的Candela®8520缺陷检测系统。它是Candela®CS920系统的后继产品,该系统是第一个将关键的形貌与晶体缺陷检测和分类集成到一个平台上的检测系统。Candela 8520的产能是其前任产品的两倍以上,更有助于帮助快速增长的功率器件市场加速良率的提高。

Candela 8520晶圆检测系统能帮助填补关键缺陷检测能力的不足,例如,裸晶圆上的堆叠缺陷以及外延生长后的基面位错。该系统还具有分析工具,例如工具上的缺陷检测,晶粒分级和轮廓映射。它可以生成全面的检测报告,帮助过程工程师执行准确的纠正措施。

Candela 8520结合了五种互补的检测技术,可以组合使用这些技术来区分多种缺陷,例如微管和微坑、胡萝卜型和基面错位、堆垛层错和台阶等,同时还能捕获困扰SiC衬底和SiC外延工艺的控制大面积形貌缺陷。

Candela 8520 infographic

暗平台,明场,斜率,相位和光致发光技术在单个平台上的结合以更高的产能为功率器件制造商提供了宝贵价值。

为了保持高性能和高生产率,Candela 8520检测系统得到了KLA全球综合服务网络的支持

需要有关Candela 8520的更多信息?在此处下载Candela 8520产品手册

要了解有关KLA Instruments Group提供的化合物半导体缺陷检测解决方案的完整产品组合的更多信息,请访问www.kla-instruments.com/defect-inspectors

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