Zeta-388 Optical Profiler

Product image of the Zeta-388
Product image of the Zeta-388
3D measurement of a bumped laser
3D image of a stitched dimaond disk
3D image of PSS bumps
3D image of a structured microFluidic channel

Zeta-388 Optical Profiler

Zeta-388支持3D量测和成像功能,并提供整合隔离工作台和晶圆盒到晶圆盒的晶圆传送系统,可实现全自动测量。该系统采用ZDot技术,可同时采集高分辨率3D数据和True Color(真彩)无限远焦点图像。Zeta-388具备Multi-Mode(多模式)光学系统、简单易用的软件、低拥有成本,以及SECS / GEM通信,适用于研发及生产环境。

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