产品描述
Tencor P-7探针式轮廓仪以成功领先市场的Tencor P-17台式探针式轮廓仪系统为基础。它涵盖了P-17的卓越测量性能，为台式探针式轮廓仪提供了出色的性价比。Tencor P-7探针式轮廓仪支持对台阶高度、粗糙度、翘曲度和应力进行2D和3D测量，扫描范围可达150mm，无需拼接。
特征
- 台阶高度：纳米级到1000微米
- 恒定力控制：0.03至15mg
- 样品的全直径扫描，无需拼接
- 视频：5MP高分辨率彩色相机
- 弧形校正：可消除探针的弧形运动引起的误差
- 软件：简单易用的软件界面
- 生产能力：全自动测量，具有测序、图形识别和SECS/GEM功能
应用
- 台阶高度：2D和3D台阶高度
- 纹理：2D和3D粗糙度和波纹度
- 形状：2D和3D翘曲、形状
- 应力：2D和3D薄膜应力
- 缺陷检测：2D和3D缺陷表面形貌
工业
- 高校、实验室和研究所
- 半导体和化合物半导体
- LED：发光二极管
- 太阳能
- MEMS：微机电系统
- 数据存储
- 汽车
- 医疗器械
- 更多内容：请联系我们并告诉我们您的需求
