P-170 Stylus Profiler

Product image of the P-170 Surface Profiler
Product image of the P-170 Surface Profiler
3D graph of MESA step height
3D graph of 100nm gate recess
3D graph of a copper pillar
3D graph of step height alignment targets

P-170 Stylus Profiler

P-170是cassette-to-cassette探针式轮廓仪,可提供几纳米至一毫米的台阶高度测量功能,适用于生产环境。该系统可以对台阶高度、粗糙度、翘曲度和应力进行2D和3D测量,其扫描可达200mm而无需图像拼接。 P-170具有先进的图案识别算法、增强的光学系统和先进的平台,这保证了性能的稳定和系统间配方的无缝移植- 这是24x7生产环境的关键要求。

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