HRP®-260 Stylus Profiler

Product image of the HRP-260
Product image of the HRP-260
3D model of a gate recess
3D model of a copper connect
3D model showing pre CMP
3D model of a STI CMP in detail

HRP®-260 Stylus Profiler

HRP®-260是一款高分辨率cassette-to-cassette探针式轮廓仪,可提供几纳米至300微米的台阶高度测量功能。 P-260配置支持台阶高度、粗糙度、翘曲度和应力的2D及3D测量,其扫描可达200mm而无需图像拼接。 HRP-260配置的功能与P-260相同,并增加了可以生产类似AFM扫描结果的高分辨率平台。 HRP平台具有先进的图案识别算法,可增强系统间程序的移植,这是24x7生产环境的关键要求。

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