InSEM^® HT
纳米压痕仪

InSEM^®HT（高温）通过在真空环境下独立加热压头和样品测量高温下的硬度、模量和刚度。InSEM HT与扫描电子显微镜 (SEM) 及聚焦离子束 (FIB) 室或独立真空室兼容。InView软件可帮助高级研究人员开发新实验。科学出版物显示，InSEM HT的结果与传统大尺度高温试验数据匹配良好。拥有较大的温度范围能力和较低的拥有成本，这种组合使 InSEM HT成为材料开发研究中的宝贵工具。

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产品说明

InSEM HT高温测试系统可在真空环境下独立加热压头和样品，并与多种 SEM/FIB室或独立真空室兼容。在温度高达800^℃ 时，可在原位模拟极端温度条件并获得一致、可靠的测试数据。钼制底座上的单晶碳化钨压头针对高温测试应用进行了优化，有多种几何形状可供选择。

功能

具有压头加热的InForce 50作动器适用于电容位移测量和电磁力驱动，并附有可互换压头
样品加热高达800 ^℃、10毫米样品尺寸和真空兼容的样品安装系统
InQuest高速数字控制器，数据采集速率最高可达100kHz，时间响应常数最快为20µs
用于样品定位的XYZ运动系统
SEM视频捕获，用于同步SEM图像和测试数据
独特的软件集成压头校准系统，可实现快速、准确的压头校准
与Windows^® 10兼容的 InView 控制和数据审查软件以及测试方法开发选项用于用户自定义实验

应用场景

高温测试
硬度和模量测量 (Oliver-Pharr)
连续刚度测量
高速材料特性分布图
蠕变测量
应变速率敏感因子

行业

大学、实验室和研究所
航空航天
车辆制造
硬质涂层
核能
军事/防御

硬度和模量测量 (Oliver-Pharr)

机械性能对新材料的研发至关重要。InSEM HT纳米压痕仪可测量各种材料的硬度，尤其是监控在热应力下的机械性能的变化。

连续刚度测量

连续刚度测量用于量化动态材料特性，例如应变率和频率引起的影响。InSEM HT纳米压痕仪提供从0.1Hz到1kHz的动态激发，可进行基于时间的监测，准确确定初始表面接触并连续测量接触刚度随深度或频率的变化。

快速材料力学性能成像

对于复合材料而言，不同区域之间的力学性能可能存在很大差异。InSEM HT在X 轴和Y轴上的样品台可移动范围为20毫米，Z轴的范围为25毫米，还能在样品区域内测试各种样品高度。使用NanoBlitz功能选项进行材料表面和断层力学性能成像，可以快速获得各种被测力学性能的彩色分布图。

高温测试

很多行业领域的材料研究不仅侧重于机械应力下的性能，还有热应力下的性能。InSEM HT是专为下一代材料测试而设计的仪器，可用于如航空航天、车辆和军事/防御等先进技术应用场景。

蠕变测量

材料由于外加负载以及温度升高而发生变形。蠕变测量是机械和热应力联合作用下应变随时间的变化，蠕变行为对于车辆和航空航天系统的有效设计至关重要。InSEM HT支持的测试温度高达800℃，并可同时监测材料的应变。

应变速率敏感因子

使用应变速率敏感因子，可以定量描述不同加载条件下产生的应变。例如，短时间内在材料上施加机械/热应力，产生的应变可能与更缓慢地施加应力时不同。InSEM HT支持用户自定义实验，在高达800°C时测量不同加载条件下的应变响应。

InSEM^® HT
纳米压痕仪可供您选购。请联系您的销售代表，了解更多信息。

连续刚度测量（CSM）

CSM技术在压痕过程中控制压头振荡，以测量样品性能随深度、荷载、时间或频率的变化。该选项默认进行恒应变速率测试，测量硬度和模量随深度或载荷的变化，这是学术界和工业界最常用的测试方法。CSM 还可用于其他高级选件，包括用于储存模量和损耗模量测量的ProbeDMA^™ 方法和排除衬底影响的测量方法AccuFilm^™。CSM功能集成在InQuest控制器和InView软件中，使用极为简便，且确保数据质量。

InForce 50作动器

InForce 50作动器可以施加最高50mN的力以进行纳米力学测试。KLA专利的电磁力加载技术，确保测量的可靠性以及加载力与位移的长期稳定性。行业领先的机械设计可确保单一方向自由度的谐波运动，从而沿单轴方向控制加载力和位移。InForce和Gemini作动器系列的压头均可互换。InForce 50作动器与CSM、NanoBlitz、ProbeDMA^™、生物材料、样品加热、划痕、磨损和 ISO 14577等测试选项兼容。

InForce 1000作动器

InForce 1000作动器采用高达1000mN的力度执行纳米力学测试。KLA专利的电磁力加载技术，确保测量的可靠性以及加载力与位移的长期稳定性。行业领先的机械设计可确保单一方向自由度的谐波运动，从而沿单轴方向控制加载力和位移。InForce和Gemini作动器系列的压头均可互换。InForce 1000作动器与CSM、NanoBlitz、样品加热、划痕、磨损和ISO 14577等测试选项兼容。

NanoBlitz 3D

NanoBlitz 3D可以采用InForce 50/InForce1000作动器和玻式压头，获得杨氏模量较高 (>3GPa)的材料的纳米力学特性3D图。NanoBlitz 3D每个压痕时间小于1s，单次测试可包含多达100,000个压痕点（300×300阵列），获得每个压痕点在特定载荷下的杨氏模量（E）、硬度（H）和接触刚度（S）。大量的测试数据能够提高统计的准确性。统计直方图可以呈现样品中的多个物相或材料组分。NanoBlitz 3D方法包还包含可视化软件和数据处理功能。

AccuFilm ^™ 薄膜测试方法

AccuFilm ^™ 薄膜测试方法是一种基于Hay-Crawford模型的InView测试方法，使用连续刚度测量 (CSM) 来测量排除基材影响的材料特性。AccuFilm ^™ 可对软衬底上的硬性薄膜测量进行衬底材质影响的校正，也可对硬衬底上的软性薄膜进行同类校正。

DataBurst

对于配有InView软件和InQuest控制器的系统，DataBurst选项容许以大于1kHz的速率记录位移数据，用于测量阶跃载荷响应、位移突进（pop-in）和其它瞬时事件。InSEM HT系统与用户方法开发选件搭配使用，可修改方法方便与DataBurst协作使用。

InView的“用户方法开发”选项

InView提供一个功能极为强大且直观的实验脚本编辑平台，可用于设计新颖或复杂的实验。经验丰富的用户可借助 InSEM HT设置并执行几乎所有小尺度的机械测试。KLA独家提供此功能。

压头和标准样品

有多种尖锐的压头可供选择，例如玻式（Berkovich）、立方角（cube corner）和维氏（Vickers）压头，还可提供平压头、球形压头和其它几何形状的压头。整个产品系列均提供标准样品和校准标准。

退火对50nm金膜的影响

通过纳米压痕硬度测试，分析沉积在两种衬底上的超薄金膜在真空退火前后的性能。NanoBlitz 3D和Express Test的测试结果显示，金薄膜的压痕硬度显著降低。

InSEM® HT纳米压痕仪

InSEM® HT纳米压痕仪

产品说明

功能

应用场景

行业

硬度和模量测量 (Oliver-Pharr)

连续刚度测量

快速材料力学性能成像

高温测试

蠕变测量

应变速率敏感因子

连续刚度测量（CSM）

InForce 50作动器

InForce 1000作动器

NanoBlitz 3D

AccuFilm ™ 薄膜测试方法

DataBurst

InView的“用户方法开发”选项

压头和标准样品

退火对50nm金膜的影响

使用KLA Nano Indenter®系统进行仪器化压痕测试

连续刚度测量 (CSM)

Nano Indenter® 系统的Express Test（快速压痕）功能选项

使用高温纳米压痕研究硅的脆韧转变行为

纳米压痕点间距对仪器化压痕试验测量硬度和模量的影响

快速纳米压痕力学性能成像技术和热障涂层测试数据的反卷积

Al1100的高温纳米压痕蠕变测量

商用纯钛应力-应变关系的显微测量

冲击硬度：纳米压痕、高应变速率和使用DataBurst技术进行高速数据采集

薄膜剥离：结合纳米压痕和成像技术，检测薄膜剥离临界载荷和界面结合能

热障涂层的快速纳米压痕力学性能成像

物理气相沉积硬质涂层的高温纳米压痕研究

光学涂层高温下的力学性能表征

使用高温纳米压痕研究混凝土在温度作用下的纳米结构变化

核材料辐照后性能变化的纳米压痕研究

ISO 14577标准化纳米压痕

压痕测试需要做多少个点？

3D打印铝的纳米压痕硬度成像

玻璃微球的杨氏模量测量

如何选择纳米压痕仪的压头

用纳米压痕仪测量电池材料

NanoFlip纳米压痕仪

Nano Indenter® G200X纳米压痕仪

iMicro 纳米压痕仪

iNano®纳米压痕仪

薄膜厚度测量系统

Instruments

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纳米压痕仪

InSEM^® HT
纳米压痕仪

AccuFilm ^™ 薄膜测试方法

使用KLA Nano Indenter^®系统进行仪器化压痕测试

Nano Indenter^® 系统的Express Test（快速压痕）功能选项

NanoFlip
纳米压痕仪

Nano Indenter^® G200X
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