MicroXAM-800 광학 Profiler

MicroXAM-800 광학 Profiler

MicroXAM-800은 수직 주사 간섭 측정법(VSI)를 갖춘 서브 미크론에서 밀리미터 기능과 위상천이 간섭 측정법(PSI)를 갖춘 나노미터 수준의 기능을 측정하는 백색광 간섭 계측기 기반의 광학 Profiler입니다. 다수의 영역에 대한 자동 측정 또는 단일 스캔을 위한 단순하며 유연한 레시피 셋업이 가능한 MicroXAM-800은 R&D와 생산환경을 모두 지원합니다.

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