데이터 분석

데이터 분석

KLA의 데이터 분석 시스템은 검사, 계측 및 공정 시스템에서 생성한 데이터를 집중화 시키고 분석합니다. 첨단 데이터 분석, 모델링 및 시각화 역량을 사용하는 KLA의 종합적인 데이터 분석 제품은 런타임(run-time) 공정 제어, 결함 이탈점 파악, 웨이퍼 및 레티클 분류, 스캐너 및 공정 교정, 결함 분류 등의 애플리케이션을 지원합니다. KLA의 데이터 관리 및 분석 시스템은 칩 및 웨이퍼 제조업체에게 관련성 높은 근본 원인 정보를 제공함으로써 수율 학습률을 가속화하고 생산 위험을 감소시킵니다.

RDC

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RDC

레티클 데이터 분석 및 관리

RDC(레티클 결정 센터) 종합 데이터 분석 및 관리 시스템은 레티클 인증을 위한 다수의 KLA 레티클 검사 및 계측 플랫폼을 지원합니다. RDC는 자동화 결함 분류 결정을 주도하고 사이클 타임을 개선하며 수율에 영향을 줄 수 있는 레티클 관련 패터닝 오류를 감소시키는 다양한 유형의 애플리케이션을 제공합니다. RDC는 필수 애플리케이션을 제공하는 것 외로 높은 수준의 신뢰성과 유연한 서버 설정을 활용하는 중앙 데이터 관리 시스템의 역할을 담당합니다.

애플리케이션

레티클 분류, 레티클 결함 분류, 레티클 결함 인쇄성 분석

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Klarity®

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Klarity®

자동화 결함 및 수율 데이터 분석

Klarity® Defect 자동화 결함 분석 및 데이터 관리 시스템은 시스템의 역할을 담당합니다. 수율 학습 주기를 가속화시킵니다. Klarity Defect을 위한 Klarity® SSA (공간 시그니처 분석) 분석 모듈은 공정 문제를 나타내는 결함 시그니처를 자동적으로 검출 및 분류합니다. Klarity® ACE XP 첨단 수율 분석 시스템은 Fab 내 그리고 Fab에 걸쳐 수율 가속화를 위해 수율 학습을 검출, 유지 및 공유하도록 지원합니다. Klarity 시스템은 직관적인 결정 흐름 분석을 활용하여 엔지니어들이 Lot 분류, 리뷰 샘플링, 결함 원인 분석, SPC 설정 및 관리와 공정사고 알림 등의 애플리케이션을 지원하는 맞춤형 분석을 손쉽게 수립할 수 있도록 합니다. Klarity Defect, Klarity SSA 및 Klarity ACE XP는 자동적으로 결함 검사, 분류 및 리뷰 데이터를 관련 근인 및 수율 분석 정보로 전환하는 Fab 전체에 걸친 수율 솔루션을 수립합니다. Klarity 데이터는 IC, 패키징, 컴파운드 세미 및 HDD 제조업체가 신속하게 시정조치를 취하여 수율을 가속화하고 시장 출시를 앞당길 수 있도록 지원합니다.

애플리케이션

결함 데이터 분석, 웨이퍼 분류, 공정 및 툴 공정사고 파악, 공간 시그니처 분석, 수율 분석, 수율 예측

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5D Analyzer®

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5D Analyzer®

첨단 데이터 분석 및 패터닝 제어

5D Analyzer®는 첨단 노드 공정 최적화, 공정 모니터링 및 패터닝 제어를 위한 시각화 및 분석을 지원하는 run-time 공정 제어 솔루션입니다. 오버레이, 레티클 등록, 웨이퍼 기하구조, 챔버 온도, 박막, CD 및 프로파일 계측 시스템과 공정 툴 그리고 스캐너 등의 Fab 내 다양한 출처로부터 데이터를 수집합니다. 레티클 및 웨이퍼 형태 데이터와 패터닝 오류에 대한 상관관계 및 첨단 오버레이 분석 등의 애플리케이션을 탑재한 5D Analyzer는 첨단 패터닝 제어에 대한 다양한 오프라인 및 실시간 use case를 지원합니다.

애플리케이션

run-time 공정 제어, 오버레이 제어, 스캐너 인증, 스캐너 교정, 공정 교정, 패터닝 제어

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ProDATA

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ProDATA

공정 윈도우 분석

ProDATA™ V2.1 공정 윈도우 및 분석 소프트웨어는 Fab 전반에 걸친 Litho 공정 최적화 및 이해를 위한 체계적이고 견고한 접근법을 제공합니다. 이 강력한 소프트웨어는 임계치수(CD) 분석, 조도 (거칠기), 옆면 각도, 탑 손실 및 패턴 붕괴를 포함한 실험 데이터에 대한 정확하고 신속하며 손쉬운 분석을 통해 주요 의사결정 과정을 신속하게 합니다.

애플리케이션

스테퍼 인증, Litho 공정 최적화, 레티클 검증 및 인증, Litho 툴 모니터링 데이터 분석, 감광재 성능 분석

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