SiC, GaN 기판을 위한 새로운 결함 검사 시스템

8월 27일, 2020

오늘 KLA Instruments는 파워 디바이스 응용을 위한 Candela® 8520 결함 검사 시스템을 발표하였습니다. 이 제품은 임무수행에 필수적인 지형학적이고 결정학적인 결함의 모든 검출 기능을 하나의 플랫폼에 통합한 최초의 검사 시스템인 Candela® CS920 시스템의 후속작입니다.

Candela® 8520은 전작에 비해 속도가 두 배 더 빠르기 때문에, 빠르게 성장하는 파워 디바이스 시장을 위하여 수율 향상의 속도를 높이는 데 도움이 됩니다. Candela 8520 웨이퍼 검사 시스템은 웨이퍼의 적층 결함(stacking fault)이나 애피택셜 성장(epitaxial growth) 후의 기저면 변위(basal plane dislocation, BPD)와 같은 치명적 결함 검출의 한계를 극복하는 능력을 갖추고 있습니다. 또한 이 시스템은 온-툴 결함 리뷰, 다이 등급부여, 등고선 지도와 같은 분석 도구를 제공합니다. 이 시스템은 공정 엔지니어들이 정확한 교정 작업을 수행하는 데 도움이 되는 종합적인 검사 보고서를 생성할 수 있습니다.

Candela 8520는 마이크로관 및 마이크로피트 결함, 캐롯 결함, 기저면 변위, 적층 결함, 계단 군집과 같은 여러 결함을 정교하게 구분하기 위하여 사용할 수 있으며, SiC 기판과 SiC 에피택셜 공정 제어에 문제를 일으킬 수 있는 큰 지형학적 결함을 찾아낼 수 있는 다섯 가지 상호 보완적 검사 기법들을 조합하였습니다.

Candela 8520 infographic

다크필드, 브라이트필드, 경사, 위상, 광발광(PL) 기법을 처리 속도가 향상된 하나의 플랫폼에 조합함으로써 파워 디바이스 제조업체에 높은 가치를 제공합니다.

Candela 8520 검사 시스템은 탁월한 성능과 생산성을 유지할 수 있도록 KLA의 글로벌 종합 서비스 네트워크의 지원을 받습니다.

Candela 8520에 대한 더 자세한 정보가 필요하신가요? 여기에서 Candela 8520 제품 브로슈어를 다운로드하십시오.

KLA Instruments Group이 공급하는 화합물 반도체 결함 검사 솔루션의 전체 포트폴리오가 궁금하시다면, www.kla-instruments.com/defect-inspectors를 방문하십시오.

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