製程差異可能起源起於各種晶圓製造廠的製程：沉積、蝕刻、研磨、晶圓幾何、光罩臨界尺寸均勻性，設計與製程的交互作用 – 發生於任何製程機台的運作、光罩曝光或是晶圓被輸送的途中。準確找出誤差出現的時間和地點是管理製程問題最直接，也最具效益的方法。製程控制在來源就是這樣的一種方法。在一個製程誤差與其他誤差交互糾纏之前，以免複雜的交互作用讓問題變得難以解決，就將錯誤揪出。在製造更多的晶圓之前，以免誤差產生加乘的效果影響並且延誤良率。

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